Точное дистанционное измерение давления и температуры тензопреобразователями на основе структур КНС

Exact distant measurement of pressure and temperature with piezoresistive transducers based on SOS structures

V. STUCHEBNIKOV, Y. VASKOV, A. PIROGOV, A. USTINOV, «Microelectronic sensors and devices MIDA» JSC

Используя тензопреобразователи на основе структур КНС, можно измерять одновременно с высокой точностью давление (±0,3%) и температуру (±1 °С) в интервале температур 20 – 200 °С в газовых и нефтяных скважинах.

Using piezoresistive transducers based on SOS structures it is possible to simultaneously measure pressure and temperature with high accuracy (±0.3% and ±1 °C correspondingly) in temperature range 20-200 °C. The transducers are developed for measurement in gas and oil wells.

Если вас интересует полный текст статьи, Вы можете заказать ее в издательстве.

Литература

1. [Электронный ресурс]. URL http://www.midaus.com.
2. Васьков Ю.А., Емельянов Г.А., Козлов В.И. Цифровой метод коррекции температурной погрешности тензопреобразователей давления на основе структур «Кремний на сапфире». // Радиоэлектронная техника: межвузовский сборник научных трудов. Ульяновск: УлГТУ, 2009. С.72 – 79.
3. Стучебников В.М. Структуры «Кремний на сапфире» как материал для тензопреобразователей механических величин // Радиотехника и электроника. 2005. Т. 50, №6. С. 678 – 696.

References

1. [Electronic resource]. URL http://www.midaus.com.
2. Vaskov Yu.A., Emelyanov G.A., Kozlov V.I. Digital method of correction of temperature error of piezoresistive pressure transducers based on structures «Silicon on sapphire» // Radio-electronic technology: interuniversity collection of scientific works. Ulyanovsk, UlSTU. 2009. Pp. 72 – 79.
3. Stuchebnikov V.M. Silicon-on-Sapphire Structures as a Material for Piezoresistive Mechanical Transducers//Journal of Communications Technology and Electronics, Vol. 50, No. 6, 2005, Pp. 622–637. Translated from Radiotekhnika i Elektronika, Vol. 50, No. 6, 2005, Pp. 678 – 696.