|
|
|||
![]() ![]() |
||||
РАЗРАБОТКА СОРБЦИОННО-ЕМКОСТНОГО СЕНСОРА ВЛАЖНОСТИ НА ОСНОВЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ МИКРОДУГОВЫМ ОКСИДИРОВАНИЕМ И МАГНЕТРОННЫМ НАПЫЛЕНИЕМDEVELOPMENT OF A SORPTION-CAPACITORY HUMIDITY SENSOR BASED ON THIN FILMS PRODUCED BY MICRO-ARC OXIDATION AND MAGNETRON DEPUTATION В сфере магистральных газопроводов, при транспортировке газа значительной является роль контроля за параметрами газа, а именно – за его влажностью. In the field of main gas pipelines, when transporting gas, the role of monitoring gas parameters, namely its humidity, is significant. В сфере магистральных газопроводов, присутствие влаги в транспортируемом продукте приводит к снижению энергетической эффективности работы транспорта, вызывает негативные физические и химические процессы [1]. В связи с приведенными аспектами значительной является роль контроля за параметрами газа, а именно за его влажностью – температурой точки росы по воде с целью минимизации рисков поставки некондиционного газа контрагентам, в том числе, по экспортным контрактам [2, с. 10]. Потребности в дооснащении приборного парка МГ приборами измерения температуры точки росы по влаге растут с каждым днем, что создает необходимость в разработке нового отечественного прибора с более доступной технологией изготовления и простой схемой монтажа на технологическом объекте. Общая потребность ПАО «Газпром» в приборах по измерению температуры точки росы превышает 10000 единиц. В системе магистрального транспорта газа для измерения температуры точки росы по воде преобладающее число анализаторов построено на сорбционно-емкостном принципе измерения влаги. Сорбционно-емкостный принцип позволяет измерять точку росы в широком диапазоне – от -110 до +20 градусов по шкале Цельсия, что подразумевает использование данного типа анализаторов на линейной части МГ, компрессорных цехах, газоизмерительных и газораспределительных станциях, а также на предприятиях по сжижению и добычи углеводородов. Данные анализаторы представлены в РФ зарубежными компаниями Michell Instruments (Англия), Xentaur (США). Конструкция зарубежного сорбционно-емкостного сенсора представляет собой электрический переменный конденсатор, состоящий из керамической подложки, на которую нанесен пористый диэлектрик (сорбирующей слой), заключенный между двумя металлическими газопроницаемыми электродами [3, с. 3]. Диэлектрическая проницаемость сорбирующего слоя и, как следствие, его емкость изменяется в зависимости от количества поглощенной влаги. Сенсор устроен таким образом, что при увеличении количества влаги в измеряемой среде она сорбируется диэлектрическим слоем, а при уменьшении отдается обратно в измеряемую среду. Диэлектрический пористый слой выполнен в виде тончайших пленок из оксида алюминия, электроды – из золотых пленок. Толщина пленок ничтожно мала и составляет 80–100 нм. Емкость данных сенсоров площадью 1 на 1 мм2 составляет порядка 198000 пкФ. На рис. 1 представлена структура зарубежных сенсоров точки росы. Топологически технология изготовления данных тонких пленок на основе оксида алюминия и золота осуществляется методами плазменного анодирования, а также магнетронного напыления в вакууме. Теоретическая и практическая реализация данного метода изготовления газопроницаемых пленок в РФ пока недоступна ввиду сложной практической реализации установок по магнетронному напылению и плазменному анодированию и их высокой стоимости, отсутствия компетентных научных кадров по направлению изготовления тонких пленок, применяемых в конструкции сенсоров влажности для задач газовой гигрометрии, а также необходимой теоретической базы. Так уж исторически сложилось, что освоение новых технологий напрямую связано с наличием необходимой финансовой и современной научно-производственной поддержки. Такую поддержку для достижения поставленных задач в данной работе оказывает завод высоковольтных электронных компонентов «Прогресс» [4]. Основаниями для выполнения данной инициативной научно-исследовательской и технологической работы (НИиТР) в свободное от основной работы время являются: – технологический приоритет № 5.5 «Технологии повышения эксплуатационной надежности объектов ГТС» программы инновационного развития ПАО «Газпром» до 2025 г. [5]; – программа импортозамещения измерительной техники на 2022-2030 гг., утвержденная Министерством промышленности и торговли РФ, пункт № 29 [6, с. 152]. Целями НИиТР являются: – изготовление отечественного сенсора влажности, не уступающего по диэлектрической проницаемости и емкости зарубежным аналогам на основе тонких пленок, с последующим проведением испытаний данного сенсора в камере холода, тепла и влаги (относительная влажность) и камере температуры точки росы (абсолютная влажность); – изготовление электронной и измерительной плат, корпуса, электроввода для данного сенсора; – проведение испытаний в целях утверждения типа на данный анализатор, а также необходимых процедур сертификации и декларирования для применения на ОПО. Для реализации поставленных целей заводом «ОБТК-Лунское» были безвозмездно предоставлены образцы сенсоров и электронных компонентов зарубежных анализаторов Michell Instruments и Xentaur. В работе раскрываются подробности изучения зарубежных технологий анализа температуры точки росы по воде (рис. 2). Представлены результаты работы по изготовлению и испытанию диэлектрических пористых сорбирующих слоев опытного сенсора из Al2O3 методом микродугового оксидирования (МДО) в плазме (рис. 3). Микродуговое оксидирование позволяет формировать композиционные керамические материалы (покрытия толщиной до 400мкм) с кристаллической и аморфной структурой широкого функционального назначения на вентильных металлах. Представлены результаты работы по изготовлению и испытанию диэлектрических пористых сорбирующих слоев опытного сенсора из Al2O3 методом микродугового оксидирования (МДО) в плазме (рис. 3). Микродуговое оксидирование позволяет формировать композиционные керамические материалы (покрытия толщиной до 400мкм) с кристаллической и аморфной структурой широкого функционального назначения на вентильных металлах. Нанесение верхнего электрода производилось методом магнетронного напыления в вакууме. Магнетронное распыление – технология нанесения тонких пленок на подложку с помощью катодного распыления мишени в плазме магнетронного разряда. В качестве катода (мишени) в работе использовалось золото высокой частоты (99,99 %). В рамках реализации проекта было изготовлено 2 опытных образца вакуумной камеры и разработана конструкторская и технологическая документация для реализации промышленного образца. Опытный образец готового сорбционного-емкостного сенсора влажности, представлен на рис. 4. На текущий день подготовлены статьи для публикации по теме научных исследований в журналы ВАК. Подготовлены материалы на получение патентов на полезную модель и изобретение. Литература 1. Узяков Р.Н., Чирков Ю.А., Кушнаренко В.М., Пояркова Е.В. Влияние непрогнозируемых факторов на коррозионные повреждения трубопроводов и оборудования // Нефтегазовое дело. – 2019. – № 6. – С. 87–100.
2. ТР ЕАЭС 046/2018 Технический регламент Евразийского экономического союза «О безопасности газа горючего природного, подготовленного к транспортированию и (или) использованию» [Электронный ресурс]. URL: https://docs.cntd.ru/document/551516260 (дата обращения: 27.02.2023). 3. Измерение точки росы по воде и углеводородам [Электронный ресурс]. URL: http://www.michell.com/ru/documents/Process_Analyzers_97142_RU_Range_Brochure.pdf (дата обращения: 27.02.2023). 4. Завод высоковольтных электронных компонентов «Прогресс» [Электронный ресурс]. URL: https://zvekprogress.ru/ (дата обращения: 27.02.2023). 5. Паспорт программы инновационного развития ПАО «Газпром» до 2025 года [Электронный ресурс]. URL: https://www.gazprom.ru/f/posts/97/653302/prir-passport-2018-2025.pdf (дата обращения: 27.02.2023). 6. Программа импортозамещения измерительной техники на 2022-2030 годы [Электронный ресурс]. URL: https://import-net.vniims.ru/upload/import.pdf (дата обращения: 27.02.2023). References 1. Uzyakov R.N., Chirkov Yu.A., Kushnarenko V.M., Poyarkova E.V. Influence of unpredictable factors on corrosion damage to pipelines and equipment // Oil and gas business. – 2019. – No. 6. – Pp. 87–100.
2. TR EAEU 046/2018 Technical Regulations of the Eurasian Economic Union On the safety of combustible natural gas prepared for transportation and (or) use Available at: https://docs.cntd.ru/document/551516260 ( accessed: 02/27/2023). 3. Dew point measurement for water and hydrocarbons Available at: http://www.michell.com/ru/documents/Process_Analyzers_97142_RU_Range_Brochure.pdf (accessed: 02/27/2023). 4. Plant of high-voltage electronic components Progress Available at: https://zvekprogress.ru/ (accessed: 02/27/2023). 5. Passport of the innovative development program of Gazprom PJSC until 2025 Available at: https://www.gazprom.ru/f/posts/97/653302/prir-passport-2018-2025.pdf (accessed: 02/27/2023). 6. The program of import substitution of measuring equipment for 2022-2030 Available at: https://import-net.vniims.ru/upload/import.pdf (accessed: 27.02.2023). Комментарии посетителей сайтаФункция комментирования доступна только для зарегистрированных пользователей
|
![]() Авторизация Ключевые слова: природный газ, параметры газа, влага, водяной пар, контроль температуры, магистральные газопроводы, транспортировка Keywords: natural gas, gas parameters, moisture, water vapor, temperature control, main gas pipelines, transportation
Просмотров статьи: 186 |